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真空机组由各种真空元件组成。它是一种没有真空室的排气系统。所有真空装置均以主泵命名。目前国内真空机组厂家生产的真空机组主要有油扩散泵机组、油增压泵机组和罗茨泵机组。
低真空抽油机的主泵常有往复式真空泵、油封真空泵、蒸汽喷射泵、水环泵、分子筛吸附泵、油蒸汽喷射泵、罗茨泵等。 低真空抽油机的主要特点工作压力高，排气盆大，但抽速相对较低。主要用于真空室的粗抽及真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气等排气量大、工作压力高的装置。
真空机组生产厂家的低真空抽气机的使用还需要根据抽气的洁净度、湿度或其他特殊要求配备必要的除尘器、干燥器等部件。
中真空油增压泵机组用于获得1～10-1pa的工作压力，极限真空度为10-2Pa。它由油增压泵、真空阀、疏水阀、低真空截止阀、放空阀、管路、电气控制板、水压继电器等部件组成。
中真空罗茨泵机组的工作真空度为1～103pa 极限真空度为10-1pa。其他部件与油增压泵组相同。
高真空抽油机的工作真空度为10-2～10-3pa，其极限真空度为10-4Pa。机组的主泵通常有油扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等，这些泵不能直接对大气工作，需要配备内部预抽泵或前置泵。阶段维护泵。一些扩散泵高真空抽油机还配有前级储气罐，以防止气压波动，提高机组性能。
超高真空抽气机组在10-6～10-8pa下运行。真空室材料除要求出气率低、漏风率小、能承受200-450℃高温烘烤外，对真空机组厂家的要求还包括：主机的极限真空度泵要高，至少在10-7～10-8pa以上。主泵在超高真空工作压力范围内有一定的抽速。主泵回气分压应足够低；对被抽气选择性强的主泵应配备足够大的辅助泵；机组主泵进风口上方的管道、阀门等部件的选材和密封要特别注意，一般真空机组采用出气率低的不锈钢和金属密封圈。
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